镍靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)或溅射镀膜工艺的高纯度镍材料,主要用于在基材表面形成功能性薄膜。关于镍靶材的详细介绍,凯泽金属结合多年生产经验及相关资料,分享如下:
1、主要应用领域
电子工业:
半导体器件中的导电层或阻挡层(如芯片互连)。
薄膜电路、显示面板(OLED、LCD)的电极材料。
防腐与耐磨涂层:
航空航天、汽车零部件表面镀镍,提高耐腐蚀性。
工具、模具的耐磨镀层。
装饰镀膜:
珠宝、卫浴五金等表面装饰性镀层。
新能源领域:
锂电池集流体、燃料电池催化层等。

2、关键性能指标
纯度:半导体级要求≥99.995%(5N5),工业级通常≥99.9%。
密度:高密度(接近理论值8.9g/cm³)以减少溅射孔隙。
晶粒尺寸:细小均匀的晶粒可提高镀膜均匀性(通常需控制为微米级)。
杂质控制:严格限制氧、硫、碳等杂质,避免影响薄膜性能。
3、生产工艺流程
熔炼提纯:真空感应熔炼(VIM)或电子束熔炼(EBM)去除杂质。
成型加工:
铸造或热等静压(HIP)制成坯料。
轧制、锻造改善结构致密性。
机械加工:切割、研磨至目标尺寸(如Φ200mm×6mm)。
绑定背板:与铜/铝背板焊接,增强散热与机械强度。
表面处理:抛光、清洗,确保无污染。

4、技术挑战
纯度控制:需避免熔炼过程中的杂质引入。
晶粒细化:通过热处理或塑性变形优化微观结构。
残余应力:加工过程中可能产生应力,需退火处理。
绑定工艺:靶材与背板的热膨胀系数需匹配,防止脱落。
5、常见规格与标准
形状:圆形、矩形、管状等。
尺寸:直径可达500mm以上,厚度通常3-10mm。
标准:符合ASTM B906、JIS H2118等国际标准。
6、市场与供应链
主要生产商:
海外:JX日矿金属、霍尼韦尔(美国)、普莱克斯(Praxair)。
国内:江丰电子、有研新材、隆华科技、凯泽金属等。
价格因素:受镍金属行情、纯度及加工难度影响,半导体级价格显著高于工业级。

7、环保与安全
健康风险:镍及其化合物可能致敏,操作需佩戴防护装备。
回收利用:废靶材可通过重熔提纯再生,降低资源消耗。
若需进一步了解镍靶材的特定应用案例或技术参数,请通过以下方式,与靶材生产厂家-凯泽金属联系。
宝鸡市凯泽金属材料有限公司
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