1、高纯钛靶
装饰用高纯钛靶是一种用于物理气相沉积（PVD）工艺的高纯度钛材料，通常以块状或板状形式存在。在真空环境下通过溅射形成薄膜，赋予基材金属光泽、耐磨、耐腐蚀等装饰性功能，广泛应用于高端装饰领域。其纯度通常要求≥99.95%（3N5级及以上）。
2、性能特点
高纯度：杂质含量极低（如Fe、O等），确保溅射膜层色泽纯净（如银白色或氮化后的金色/黑色）。
致密均匀：通过粉末冶金或熔炼工艺实现高密度（≥4.5 g/cm³），减少溅射时的颗粒飞溅。
耐腐蚀性：钛的天然钝化膜使其在酸碱性环境中表现优异，延长涂层寿命。
环保性：无毒无害，符合RoHS标准，适用于食品接触或医疗配件。
高温稳定性：熔点高达1668°C，适合高温溅射工艺。
3、材质与制造
材质：纯钛（CP-Ti，Grade 1或2），纯度≥99.95%，常见形态为锻造或轧制靶材。
工艺：真空电弧熔炼（VAR）→ 锻造/轧制 → 机械加工（车削、研磨）→ 清洗封装。
4、执行标准
国际标准：ASTM B348（钛材通用）、ASTM F67（纯钛外科植入级参考）。
行业规范：SEMI F47（半导体靶材参考，部分指标适用）。
国内标准：GB/T 3620.1（钛及钛合金牌号）、GB/T 5193（杂质检测方法）。
5、应用领域
消费电子：手机边框、智能手表表壳（如钛金属拉丝效果）。
珠宝与钟表：钛镀层首饰、表带（轻量化+抗过敏）。
汽车装饰：内饰镀铬替代（环保且耐刮）。
建筑与家居：卫浴五金、灯具表面（防指纹、抗变色）。
工业设计：眼镜架、高尔夫球杆装饰涂层。
6、与其他靶材的异同
| 特性 | 纯钛靶 | 钛合金靶（如Ti6Al4V） | 镍靶 | 锆靶 |
| 成分 | ≥99.95% Ti | Ti+Al/V等合金元素 | ≥99.9% Ni | ≥99.5% Zr |
| 膜层颜色 | 银白/氮化后多彩 | 偏灰暗，色泽单一 | 银白，易氧化变黄 | 深灰/黑色（需反应溅射） |
| 耐腐蚀性 | 极强（钝化膜） | 中等（合金元素影响） | 一般（易被酸碱侵蚀） | 优异（耐高温氧化） |
| 应用场景 | 高端装饰、医疗 | 耐磨工业部件 | 电子导电层、磁性薄膜 | 深色涂层、核工业 |
| 成本 | 较高 | 中等 | 低 | 高 |
7、选购方法与注意事项
选购方法
纯度验证：要求供应商提供ICP-MS检测报告，重点查看O、Fe、C含量。
尺寸匹配：确认靶材厚度/直径与设备腔体兼容（如Φ200mm×6mm）。
供应商资质：优先选择通过ISO 9001认证，且具PVD行业服务经验的厂商。
性价比：对比不同工艺（锻造vs.烧结）靶材的寿命（如3000小时以上为优）。
注意事项
储存：真空包装存放于干燥箱（湿度<40%），避免表面氧化生成TiO₂。
运输：泡沫+木箱防震，避免边缘崩缺。
使用优化：
预溅射时间：10-15分钟去除表面污染物。
溅射功率：控制≤10W/cm²，防止局部过热导致裂纹。
维护：定期用无水乙醇清洁靶面，使用后翻转靶材以均匀消耗。
装饰用高纯钛靶凭借其优异的成膜质量和环保特性，成为高端表面处理的首选。选购时需严格把控纯度与供应商技术实力，并注意工艺参数适配性。与镍、锆等靶材相比，钛靶在装饰领域的色彩表现和耐久性更具优势，但成本较高，需根据具体需求权衡选择。
