众所周知，纯度是靶材的主要性能指标之一，在实际使用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。相比一般的工业纯钛，高纯钛价格昂贵，应用范围较窄。主要用来满足一些特殊行业的使用。有关高纯钛靶材的主要应用领域，凯泽金属整理如下：
1、生物材料
钛是无磁性金属，在很强的磁场中也不会被磁化，且与人体有良好的相容性，无毒副作用，可以用来制造人体植入器件。一般医用钛材并没有达到高纯钛的级别，但是考虑到钛中不纯物的溶出问题，植入件用钛的纯度应尽可能的高。有文献中提到，高纯钛丝可用做生物捆扎材料。此外，内埋导管的钛制注入式针头也达到了高纯钛级别。
2、装饰材料
高纯钛具有优异的耐大气腐蚀性能，在大气中长期使用也不变色，保证钛原有的本色。因此高纯度钛还可以用做建筑装饰材料。此外，近年来部分高档装饰品以及部分佩戴物，如手链、手表及眼镜架等用钛制作利用了钛耐腐蚀、不变色、能长久保持良好的光泽以及与人体皮肤触摸不致敏等特性。某些装饰品用钛的纯度现已达到5N级别。
3、吸气材料
钛作为一种化学性质非常活泼的金属，在高温下可与许多元素和化合物发生反应。高纯钛对活性气体(如O2，N2，CO，CO2，650℃以上的水蒸气)的吸附性很强，蒸发在泵壁上的钛膜可形成一个高吸附能力的表面，这一性质使得Ti在超高真空抽气系统中作为吸气剂而得到广泛的应用。如用在升华泵、溅射离子泵等，可使溅射离子泵的极限工作压强低至一定程度。
4、电子信息材料
近年来，随着半导体技术、信息技术等高科技领域的快速发展，高纯钛在溅射靶材、集成电路、DRAMs和平板显示器等方面的用量越来越大，对钛材的纯度要求越来越高。在半导体超大规模集成电路行业，控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和配线材料。制作这些材料采用溅射法，而溅射法用的钛靶材对纯度要求很高，特别是对碱金属元素和放射性元素要求含量极低。
除此之外，高纯钛靶材在特殊合金、功能材料领域也有应用。
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