随着市场需求的变化,中高等靶材成为镀膜行业必不可缺的部分,近年国内的靶材行业发展迅速,靶材供应商纷纷加大研发和投入,广东的靶材供应商发展势头强劲,中高等的靶材制造商在广州实现量产。靶材产品的种类也越来越丰富 :银(Ag)靶、Cr靶、Ti靶、镍铬(NiCr)靶、锌锡(ZnSn)靶、硅铝(SiAl)靶、氧化钛(TixOy)靶,镍铬靶等。
靶材在玻璃上的另一个重要应用是制备汽车后视镜,主要是铬靶、铝靶、氧化钛靶等。由于汽车后视镜档次要求的不断提高,这些企业纷纷从原来的镀铝工艺转成真空溅射镀铬工艺。
伴随着电子产业的发展,高技术材料逐渐向薄膜转移,镀膜期间随之发展迅速,靶材是一种具有高附加值的特种电子材料,是溅射薄膜材料的源较。陶瓷靶材作为非金属薄膜产业发展的基础材料,已得到从未有过的发展,靶材市场规模日益膨胀。国内的陶瓷平面靶材主要采用烧结及绑定工艺,可生产非常大长度600mm,非常大宽度400mmm,非常大厚度30mm,圆角、斜边、台阶等异形根据客户要求加工。
陶瓷靶材的特性要求:
(1)纯度:陶瓷靶材的纯度对溅射薄膜的性能影响很大,纯度越高,溅射薄膜的均匀性和批量产品的质量的一致性越好。几年来,随着微电子产业的发展,对成膜面积的薄膜均匀性要求十分严格,其纯度必须大于4N。平面显示用的ITO靶材In2O3和Sn2O3的纯度都大于4N。
(2)密度:为了减少陶瓷靶材的气孔,提高薄膜性能,要求溅射陶瓷靶材具有高密度。靶材越密实,溅射颗粒的密度月底,放电现场就越弱,薄膜的性能也越好。
(3)成分与结构均匀性:为保证溅射薄膜均匀,尤特在复杂的大面积镀膜应用中,必须做到靶材成分与结构均匀性好。
相信在不久的将来,国内会有更多的靶材供应商,向国外中高等靶材市场发起一波强而有力的冲击。
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