钛靶材的制造方法，包括选取钛原料，将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；之后立即进行热处理，然后将保温热处理后的铸锭坯料形成钛坯；进行第二热处理，然后将保温热处理后的钛坯形成第二钛坯：对第二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；将冷轧坯做退火热处理，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。本发明通过多次热处理，使得钛坯中的元素产生固态扩散，来减轻化学成分分布的不均匀性，减少靶材坯料的分层现象，缩小晶粒尺寸；同时可消除残余应力，稳定尺寸，减低硬度和脆性，增加其可塑性，减少变形与裂纹倾向。
一种钛靶材的制造方法，钛靶材厂家包括以下步骤：
步骤1：选取钛原料，采用大气熔炼或真空熔炼的方法将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；
步骤2：将步骤1浇铸所形成的铸锭坯料立即进行热处理，热处理的温度为450～650℃，保温时间0 .5～2 .5h，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打形成。
步骤3：对步骤2中形成的钛坯进行第二热处理，第二热处理的温度为350-550℃，保温时间为1～3h，然后将保温热处理后的钛坯进行热轧延或者空气锤锻打，形成第二钛坯；
步骤4：对步骤3得到的第二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；
步骤5：将步骤4冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为300～700℃，时间为1～5h，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。
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