1、定义
钛管靶是一种中空圆柱形钛金属材料，专为旋转阴极溅射镀膜设计，通过高速旋转（通常200-500 rpm）实现靶材表面均匀刻蚀，提升材料利用率（可达80%以上，而平面靶仅40-60%）。
2、性能特点
| 特性 | 数值/描述 | 优势 |
| 溅射均匀性 | 膜厚偏差≤±3% (对比平面靶±8%) | 适合大面积连续镀膜（如卷绕式镀膜生产线） |
| 散热效率 | 水冷系统接触面积增加50% | 支持高功率溅射（10-15 kW） |
| 材料利用率 | 80-90% (平面靶40-60%) | 降低单次镀膜成本 |
| 机械强度 | 壁厚≥5mm时抗弯强度≥300 MPa | 可承受高速旋转离心力 |
3、常用材质牌号
| 标准体系 | 牌号 | 纯度要求 | 适用场景 |
| ASTM | Grade 2 | ≥99.7% Ti | 常规装饰镀膜、工具涂层 |
| GB/T 3620.1 | TA1 | ≥99.9% Ti | 光学镀膜、半导体封装 |
| JIS H 4650 | TP340 | ≥99.8% Ti | 显示面板ITO导电层 |
| 特殊高纯 | Ti-5N | 99.999% Ti | EUV光刻机反射镜镀膜 |
4、执行标准
国际标准：
ASTM B338: 钛及钛合金无缝管（规定尺寸公差±0.1mm）
ISO 5832-2: 外科植入物用钛材（适用于医疗镀膜靶材）
中国标准：
GB/T 3624: 钛及钛合金管材（壁厚公差±10%）
GB/T 5193: 溅射靶材晶粒度要求（晶粒尺寸≤50 μm）
5、应用领域
| 领域 | 具体应用 | 性能要求 |
| 显示面板 | OLED阳极层、TFT导电层 | 纯度≥99.95%，氧含量<500 ppm |
| 光伏产业 | 薄膜太阳能电池背电极 | 厚度均匀性CV≤2% |
| 医疗器械 | 人工关节抗菌涂层 | 符合ISO 10993生物相容性标准 |
| 汽车玻璃 | 隔热Low-E膜 | 耐高温循环（-30~300℃） |
6、与其他钛靶类型的区别
| 参数 | 钛管靶 | 钛板靶 | 钛靶块（柱状靶） |
| 形状 | 空心圆柱（Φ50-500mm×L≤3m） | 平面矩形/圆形 | 实心圆柱/立方体 |
| 溅射方式 | 旋转阴极（动态镀膜） | 固定阴极（静态镀膜） | 磁控扫描溅射 |
| 材料利用率 | 80-90% | 40-60% | 50-70% |
| 典型应用 | 卷绕式连续镀膜 | 小面积精密镀膜 | 高功率脉冲溅射（HiPIMS） |
| 成本 | 高（需精密离心铸造） | 中 | 低 |
7、选购方法
尺寸匹配：
内径需与旋转阴极轴公差配合（推荐H7/g6间隙配合）
长度根据镀膜腔室尺寸选择（常见1-2.5m）
纯度验证：
要求提供GDMS报告（重点关注Al≤50 ppm、Fe≤100 ppm）
结构检测：
超声波探伤（UT）检测壁厚均匀性（偏差≤±0.2mm）
EBSD分析晶粒取向（择优取向（002）面占比≥60%）
供应商资质：
需具备真空自耗电弧炉（VAR）+冷轧（Pilger Mill）生产线
8、注意事项
安装精度：
同心度偏差≤0.05mm/m，防止旋转振动导致膜层波纹
冷却系统：
水温需控制在15-25℃，流量≥20 L/min（避免靶材过热变形）
寿命管理：
当壁厚磨损至原始值50%（如初始10mm剩5mm）时需更换
安全规范：
钛粉尘爆炸浓度下限为45 g/m³，加工区需配备NFPA 68标准防爆系统
钛管靶凭借其高材料利用率和均匀镀膜特性，在显示面板（如G10.5代线需Φ450×2500mm靶管）和光伏领域占据主导地位。相比钛板靶，其采购成本高约30%，但综合镀膜效率提升50%以上。特殊应用（如EUV镀膜）需选择单晶钛管靶（晶向偏差<1°），并配合离子束辅助沉积（IBAD）工艺，实现膜层表面粗糙度<0.2 nm。
