凯泽金属钛靶材供货标准
发布时间:2020-02-14 22:33:45
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一、钛靶的化学要求
ASTM B265 | GB / T 3620.1 | JIS H4600 | 元素含量(≤wt%) |
N | C | H | 铁 | Ø | 其他 |
纯钛 | Gr1 | TA1 | 1类 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
Gr2 | TA2 | 2类 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / |
钛合金 | Gr5 | TC4 钛-6Al-4V | 60级 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | 铝:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
Gr7 | TA9 | 第12课 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 钯:0.12-0.25 |
Gr12 | TA10 | 60E级 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 钼:0.2-0.4 镍:0.6-0.9 |
二、规格
产品名称 | 钛圆形靶 |
牌号 | 钛(Gr1,Gr2,Gr5,Gr7,GR12) 合金靶材:Ti-Al,Ti-Cr,Ti-Zr等 |
起源 | 陕西省宝鸡市 |
钛含量 | ≥99.5(%) |
杂质含量 | <0.02(%) |
密度 | 4.51或4.50 g / cm3 |
标准 | ASTM B381;ASTM F67,ASTM F136 |
尺寸 | 1.圆形靶:Ø30--2000mm,厚度3.0mm--300mm; 2.板托:长度:200-500mm宽度:100-230mm厚度:3--40mm 3.靶材:直径:30-200mm厚度:5-20mm长度:500-2000mm 4.可定制 |
技术 | 锻造和数控加工 |
应用 | 钛靶材主要应用于半导体分离,薄膜涂层材料,存储电极涂层,溅射涂层,表面涂层,玻璃涂层工业。 |
三、管靶室温下的纵向机械性能
牌号 | 拉伸强度Rm / MPa(> =) | 屈服强度Rp0.2(MPa) | 伸长 A4D(%) | 减少面积 Z(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18岁 | 25 |
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