20世纪90年代以来靶材已蓬勃发展成为一个有经验化产业，中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜，而靶材是制作薄膜的关键，品质的好坏对薄膜的意义重大。目前高等品质靶材主要由:日本、德国和美国生产，我国靶材产业起步较晚，在产品质量与精细标准上与国外有不少的差距，国内也有许多大学及研究机构对靶材积较投入了大量钻研与开发，经过这几年的发展,珠三角也涌现了一批高新科技靶材厂家，其中少数成为了三星等全部知名企业的供应商，他们在国内占据了大部分中高等靶材市场份额。
1、靶材应用行业分类
1.1装饰、工模具镀膜行业靶材铬靶（Cr），平面铬靶，喷涂铬管；
铬硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；
钛铝靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（电弧，平面靶，旋转管靶）；
钛铝硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；
钛靶，钛管靶，锆靶；
金靶、玫瑰金靶；
石墨靶，镍靶，铝靶，不锈钢靶等。
1.2太阳能光伏光热行业靶材
氧化锌铝靶AZO；硅靶；钛靶、氧化钛靶；铝靶；铬靶、镍铬；锌铝、钨、钼靶等。
1.3建筑汽车玻璃大面积镀膜
硅铝靶、旋转硅铝靶；氧化钛靶；锡靶；铬靶；硅靶；钛靶、不锈钢靶。
1.4平面显示行业
ITO靶；二氧化硅靶；高纯硅靶4-7N；高纯铬靶3N5；TFT钼靶；钼铌靶；钨钛靶90/10wt%；高纯铝靶等。
1.5光学，光通信，光存储行业
银靶；钽靶；硫化锌靶；高纯铝靶；硅靶。
2、常用靶形
常用靶形有电弧靶、平面靶、旋转管靶。
2.1平面靶材利用率提高方式
（1）改变磁铁运动方向
（2）改变磁力线分布宽度和高度
2.2靶材性能与要求
靶材质量直接影响着薄膜的物理、外观、力学等性能，因而对靶材质量的评判较为严格，主要应满足以下要求：杂质及氧含量低、纯度高；致密度高；成分与结构均匀；晶粒尺寸细小。
2.3劣质靶材缺点
a)为熔炼铬靶烧蚀后靶面情况
b)靶面有凹痕为引弧针安装不当导致的
c)水晶镀膜靶材密度不够，烧蚀后区别
d)等离子喷涂氧化钛旋转管靶不良
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