硬质涂层是通过气相沉积法，在硬质合金刀片表面上涂覆耐磨的碳化钛、氧化铝等薄层，从而形成表面涂层硬质合金，这种涂层材料耐磨性好，耐腐蚀，且耐高温氧化，在切削刀具和耐磨零部件等机械加工行业中得到广泛使用。在硬质涂层沉积的时候，需要利用到镀膜靶材来进行沉积，所以靶材能够影响到硬质涂层各方面的性能和使用效果。因此这就对硬质涂层用镀膜靶材的要求较高，凯泽金属结合相关资料，分享如下：
一、硬质涂层用镀膜靶材的技术要求
1、靶材纯度
靶材的纯度对溅射薄膜的性能影响很大。靶材的纯度越高，溅射薄膜的均匀性越好，性能越高。影响靶材纯度的主要因素是杂质含量，杂质的来源广泛，包括熔炼铸造过程中的夹杂物和粉末原料中的氧气和水等。靶材作为溅射中的阴极，固体中的杂质和气孔中的O2和H2O在沉积过程中，容易在薄膜表面形成熔滴和孔洞。
2、致密度
靶材的致密度不仅影响溅射时的沉积速率、溅射膜粒子的密度和放电现象等，还影响着溅射薄膜的物理和力学性能。靶材致密度越高，溅射膜粒子的密度越低，放电现象越弱，薄膜的性能也越好；致密度低的靶材在溅射过程中，存在于靶材孔隙中的气体突然释放，造成大尺寸的材料颗粒或微粒飞溅，或在成膜之后薄膜受到二次电子的轰击产生微粒，这些微粒的出现将严重影响硬质涂层质量。
3、成分与结构均匀性
成分与结构均匀性是考察靶材质量的重要指标之一。对于复相结构的合金靶材和混合靶材，不仅要求成分的均匀性，还要求组织结构的均匀性。只有靶材的成分和结构均匀，在后期镀膜过程中才能均匀地溅射在基体上；如果均匀性不好，沉积出来的薄膜均匀性也会受到影响，容易出现孔洞、间隙、凸起等缺陷。
4、晶粒尺寸和取向
靶材的晶粒尺寸越细小，沉积的薄膜厚度分布越均匀，溅射速率越快。在靶材的溅射沉积镀膜过程中发现，合金靶材具有择优溅射现象，这严重影响到薄膜的化学组成，因此控制合金靶材中的晶粒取向显得尤为重要。
5、几何形状与尺寸
主要体现在加工精度和质量方面，如表面粗糙度和平整度等。检查靶材表面有无开裂、缩孔和难熔不熔物等。靶材对表面质量的控制极为严格，表面质量缺陷对后续的溅射镀膜均匀性影响很大。
二、硬质涂层用镀膜靶材的性能要求
硬质涂层用镀膜靶材的性能要求主要是对溅射靶材的热导率、电导率和热膨胀系数的要求。因溅射导致靶材的温度升高，热导率越高热量传递的越快，靶材离子的蒸发效果越好，沉积效率越高；靶材与基材的热膨胀系数的差值越小越好，借以减小热应力的影响。
综上，硬质涂层用镀膜靶材的要求有两方面，一是技术要求，包括靶材的纯度、致密度、成分与结构均匀性等；二是性能要求，主要是是对溅射靶材的热导率、电导率和热膨胀系数的要求。凯泽金属专注生产各种溅射靶材，铬靶、镍靶、锆靶、铝靶材等的深加工，产品纯度高，还可进行有关使用方面的技术指导，如果您有需要，欢迎联系凯泽金属详询。
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