宝鸡市凯泽金属材料有限公司,多年来专注于溅射靶材、真空镀膜钛、镍、锆、铬靶材的生产及深加工,靶材广泛应用于主营平板显示器用靶材,镀膜玻璃工业用靶材,电阻靶材,汽车车灯镀膜用靶材等领域。有关钛靶材的制备工艺方法,凯泽金属结合10多年的生产经验,结合有关资料,整理如下:
目前钛靶材的制备主要有铸造法和粉末冶金法。
铸造法:将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金溶液浇注于模具中,形成铸锭,最后经机械加工制成靶材,铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等,其优点是靶材杂质含量(特别是气体杂质含量)低,密度高,可大型化;缺点是对熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属,普通熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材。
粉末冶金法:将一定成分配比的合金原料熔炼,浇注成铸锭后再粉碎,将粉碎形成的粉末经等静压成形,再高温烧结,最终形成靶材,其优点是靶材成分均匀;缺点是密度低,杂质含量高等,常用的粉末冶金工艺包括冷压、真空热压和热等静压等。
一、按材质:
靶材分为金属靶材,陶瓷(氧化物、氮化物等)靶材,合金靶材。
二、按应用方向:
1、半导体关联靶材:
电极、布线薄膜:铝靶材,铜靶材,金靶材,银靶材,钯靶材,铂靶材,铝硅合金靶材,铝硅铜合金靶材等。
储存器电极薄膜:钼靶材,钨靶材,钛靶材等。
粘附薄膜:钨靶材,钛靶材等。
电容器绝缘膜薄膜:锆钛酸铅靶材等。
2、磁记录靶材:
垂直磁记录薄膜:钴铬合金靶材等。
硬盘用薄膜:钴铬钽合金靶材,钴铬铂合金靶材,钴铬钽铂合金靶材等。
薄膜磁头:钴钽铬合金靶材,钴铬锆合金靶材等。
人工晶体薄膜:钴铂合金靶材,钴钯合金靶材等。
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